聯(lián)系電話：0898-65823138
聯(lián)系電話：0898-65823138
氣體應(yīng)用系統(tǒng)工程行業(yè)雖然是一個(gè)小眾行業(yè)，但它在現(xiàn)代工業(yè)中也是不可或缺的一部分，其工程覆蓋半導(dǎo)體、集成電路、光纖、太陽(yáng)能電池、生物醫(yī)藥、食品安全、實(shí)驗(yàn)科研等多個(gè)高新技術(shù)領(lǐng)域。其中特氣系統(tǒng)是一個(gè)非常重要的組成部分，因?yàn)槠邢?，今天小編就先帶大家了解一下特氣、特氣柜和特氣系統(tǒng)吧！
特氣系統(tǒng)
1.什么是特氣？
特氣，又名特種氣體，是一種基礎(chǔ)化工原料，大多是易燃易爆、有毒、有腐蝕性、純度特別高（超過(guò)99.999%）的氣體，用來(lái)滿足特定需求如芯片制程等。至于如何界定屬不屬于特氣范疇，對(duì)于我們行業(yè)內(nèi)來(lái)說(shuō)，主要看的是純度。
2.特氣的分類：
特種氣體(Specialtygases)門類繁多，通?？蓞^(qū)分為電子氣體，標(biāo)準(zhǔn)氣，環(huán)保氣，醫(yī)用氣，焊接氣，殺菌氣等。
3.關(guān)于特氣的純度，5N/6N是什么意思？
5N：99.999% ，氣體純度達(dá)到5個(gè)nine；
6N：99.9999% ，氣體純度達(dá)到6個(gè)nine。
4.特氣的使用危險(xiǎn)性大不大？
廣泛上來(lái)說(shuō)危險(xiǎn)性很大，因?yàn)樘胤N氣體大多是危險(xiǎn)性氣體，如高純氯氣CL2擁有劇毒性，人體吸入過(guò)量高純氯氣會(huì)引起呼吸道損傷，嚴(yán)重時(shí)會(huì)引起急性肺水腫，搶救不當(dāng)可能會(huì)造成窒息死亡。但是只要你的技術(shù)過(guò)硬，經(jīng)驗(yàn)足夠，按照規(guī)定的操作規(guī)范進(jìn)行安全操作一般問(wèn)題不大，這也是為什么特氣系統(tǒng)工程的安裝公司需要資質(zhì)的原因。
5.什么是GC特氣柜？
GC特氣柜是專為易燃易爆、腐蝕性、毒性等危險(xiǎn)特種氣體供應(yīng)而設(shè)計(jì)的供應(yīng)系統(tǒng)設(shè)備，主要用于特種氣體的高純度安全穩(wěn)定輸送。
特氣柜
6.特氣柜的種類
特氣柜按類別分全自動(dòng)、半自動(dòng)和手動(dòng)操作。
其中全自動(dòng)GC特氣柜按功能設(shè)計(jì)可分為 單鋼瓶(1process)/ 雙鋼瓶( 2 Process ) / 三鋼瓶(2 Process + 1 N2) 氣瓶柜內(nèi)的鋼瓶數(shù)設(shè)計(jì)可分為三種：分別為單鋼瓶、雙鋼瓶、三鋼瓶。
（1） 單鋼的設(shè)計(jì)通常使用于研究機(jī)構(gòu)或?qū)嶒?yàn)室等。工藝制程尚未有量產(chǎn)，氣體使用量小，現(xiàn)場(chǎng)可隨時(shí)協(xié)調(diào)停機(jī)進(jìn)行鋼瓶之更換，其優(yōu)點(diǎn)節(jié)省空間、成本低、但需透過(guò)日常之管理與協(xié)調(diào)以免中斷工藝制程造成損失。
（2） 雙鋼與三鋼常用于量產(chǎn)工廠，工藝制程不允許停機(jī)情況，當(dāng)一支鋼瓶使用完后，另一支備用鋼瓶（stand by）會(huì)自動(dòng)轉(zhuǎn)為供氣，此兩種形式最大的差別是在purge管路的純化氮?dú)馐且凿撈炕驈S務(wù)端供應(yīng)，當(dāng)purge用的PN2統(tǒng)一由廠務(wù)端來(lái)供應(yīng)時(shí)，所有特殊氣體供應(yīng)系統(tǒng)不管是否相容，全部連接到同一個(gè)供應(yīng)源，會(huì)有較高的風(fēng)險(xiǎn)值；萬(wàn)一中央供應(yīng)系統(tǒng)的PN2中斷，警報(bào)系統(tǒng)又損壞，恰巧兩種不相容的氣體同時(shí)使用purge，此時(shí)極有可能發(fā)生爆炸的事件發(fā)生，相同性質(zhì)可使用同一瓶鋼瓶來(lái)purge增加的成本及空間非常有限，是一種非常好的應(yīng)變方式。
（3） 三鋼氣柜成本不會(huì)差很多安全性會(huì)是最好的，只要空間允許應(yīng)最優(yōu)先選擇。
7.全自動(dòng)特氣柜的功能作用
全自動(dòng)特氣柜（Gas Cabinet ）基本功能包括自動(dòng)吹掃、自動(dòng)切換以及緊急情況下的自動(dòng)安全切斷（當(dāng)設(shè)定報(bào)警信號(hào)被觸發(fā)時(shí)）。采用PLC控制，觸控屏為人機(jī)界面，通過(guò)設(shè)備安裝的壓力傳感器、氣動(dòng)閥、過(guò)流量計(jì)等裝置，實(shí)現(xiàn)設(shè)備安全有效的運(yùn)行。其內(nèi)部PLC程式設(shè)計(jì)的安全聯(lián)鎖功能和高純閥件的合理選擇和布局，既滿足了半導(dǎo)體工藝生產(chǎn)過(guò)程中對(duì)特殊氣體連續(xù)供給和高純度的要求，同時(shí)也確保了工廠正常生產(chǎn)和員工人身安全。
8.特氣柜與普通氣瓶柜的區(qū)別？
因特種氣體的特殊性，承載特種氣體的氣瓶柜體須為防爆柜體，同時(shí)為保證半導(dǎo)體制程工藝中特種氣體的穩(wěn)定供氣和安全，應(yīng)具備多種功能，如柜內(nèi)氣體泄漏偵測(cè)報(bào)警、PLC面板控制、全自動(dòng)吹掃等，提高使用安全系數(shù)，有效的保護(hù)生產(chǎn)安全和人員的生命安全。其次，半導(dǎo)體行業(yè)配置電子特氣柜需要擁有SEMI S2認(rèn)證。
9.特氣柜的SEMI S2認(rèn)證重要嗎？
SEMI S2的對(duì)象是針對(duì)半導(dǎo)體制程設(shè)備的，是關(guān)于環(huán)境、健康、安全方面的標(biāo)準(zhǔn)，也即為EHS標(biāo)準(zhǔn)，因?yàn)榘雽?dǎo)體行業(yè)涉及到很多特種氣體、化學(xué)品及電氣、游離及非游離的輻射，如果處理不好，下游用戶在使用的時(shí)候就很容易導(dǎo)致事故甚至災(zāi)難，因此對(duì)設(shè)備廠商的設(shè)備產(chǎn)品如電子特氣柜，擁有SEMI S2認(rèn)證就顯得極端重要。
SEMI S2認(rèn)證
10.特氣系統(tǒng)是什么？
特種氣體的儲(chǔ)存、輸送與分配過(guò)程的設(shè)備、管道和部件都總稱則稱為特氣系統(tǒng)，是用于實(shí)現(xiàn)特氣安全使用的氣體系統(tǒng)工程。
11.特氣系統(tǒng)的組成
特氣系統(tǒng)由供氣端（CF4是氣體鋼瓶供氣）、GC特氣柜/GR特氣架、氣體閥門分配箱VMB/VMP、耐腐蝕的316L EP不銹鋼管道和氣體監(jiān)測(cè)報(bào)警系統(tǒng)等組成。
特氣系統(tǒng)
12.特氣系統(tǒng)的應(yīng)用領(lǐng)域？
特氣系統(tǒng)廣泛電子工業(yè)領(lǐng)域，因?yàn)殡娮犹胤N氣體是光電子、微電子等領(lǐng)域，特別是超大規(guī)模集成電路、液晶顯示器件、非晶硅薄膜太陽(yáng)能電池、半導(dǎo)體發(fā)光器件和半導(dǎo)體材料制造過(guò)程不可缺少的基礎(chǔ)性支撐源材料。它的純度和潔凈度直接影響到光電子、微電子元器件的質(zhì)量、集成度、特定技術(shù)指標(biāo)和成品率，并從根本上制約著電路和器件的精確性和準(zhǔn)確性。
轉(zhuǎn)載：互聯(lián)網(wǎng)
下一篇： 焊接所用混合保護(hù)氣體的種類和特性